光學法中的激光干涉法和橢圓偏振光法在微米級薄膜測量中占據著重要地位。激光干涉法，利用了光的干涉現象，就像平靜湖面投入兩顆石子產生的漣漪相互交織 。當一束激光照射到薄膜上，在薄膜的上下表面會分別反射，這兩束反射光會相互干涉形成明暗相間的條紋。通過精確測量這些干涉條紋的間距和數量，再依據光的波長等參數，就能夠計算出薄膜的厚度。其精度高，甚至可達納米級，對于極薄的薄膜也能精準測量，并且是非接觸式測量，不會對薄膜造成物理損傷。然而，它對薄膜表面的平整度要求近乎苛刻，稍有不平整就可能影響測量結果；同時，環境中的振動和溫度變化也如同干擾信號，會使測量產生誤差。

橢圓偏振光法同樣精妙，當一束偏振光以特定角度入射到薄膜表面時，光與薄膜相互作用，其偏振狀態會發生改變。通過精密測量這種偏振狀態的變化參數，如橢偏參數 Ψ 和 Δ ，再借助專業的光學模型和復雜的數據分析，就可以推算出薄膜的厚度和光學常數。它具有較寬的測量范圍，從納米級到微米級的薄膜都能測量，精度也較高，適用于多種類型的薄膜。但它的測量過程較為復雜，需要專業的知識和技能來操作儀器和分析數據，而且對測量環境的穩定性也有一定要求。